昆山帕斯卡真空技術有限公司

漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點： 漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積 hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現象。 漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能最佳 Hanbell干式螺桿真空泵，專利轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。 漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易 Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。 漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監控，保護周全 Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態，方便使用者對泵應用狀態進行調整，在真空泵產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能夠提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場就能夠了解真空泵的運行狀態。 漢鐘螺桿真空泵典型應用： 面板TFT-LCD, Touch Panel 太陽能Solar 冶金系統Metallurgical System 鍍膜Coating 電漿制程Plasma processes 干燥處理Drying Process 制程氣體抽取Degassing 生技/制藥Biotech/Pharmaceutical 化工產業Chemical Industry 鋰電池Battery 機型Model 單位Unit PDF110 PD120 PD300 PD400 PD650 PD800 抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) l/min 1800 1667/2000 4167/5000 5556/6667 9030/10840 11011/13233 m3/hr 110 100/120 250/300 333/400 540/650 680/800 Cfm 65 59/71 147/176 196/236 317/382 393/471 終極壓力 Ultimate Pressure Torr ≤7.5*10-3 mbar ≤1*10-2 Pa ≤1 馬達 Motor 頻率Frequency Hz 50/60 電壓Voltage V 220-440 額定功率 Rated Power Hp 3 4/4.8 8/10 15/20 25/30 25/30 kW 2.2 2.98/3.58 6.7/7.5 11/15 18.5/22 18.5/22 連接 Connection 進氣口Inlet ? NW50 NW50 ISO63 ISO63 ISO100 ISO100 排氣口Outlet ? NW25 NW40 NW40 NW40 ISO63 ISO63 冷卻水 Cooling Water 接頭Connection RC3/8 壓力Pressure Mpa 0.2—0.4 溫度temperature ℃ 25 3slm18℃-6slm28℃ 6slm18℃-15slm28℃ 流量 Flow l/min? 1 氮氣 N2 壓力Purge Pressure MPa 0.15-0.2 稀釋流量 Dilute flow L/min By process 密封流量 Sealing foow L/min 10 接頭Connection ? Swagelok 1/4" Swagelok 3/8" 尺寸Dim. 長×寬×高L×W×H mm 398*358*551 814*380*663 1075*430*650 1582*700*757 1831*610*735 1831*610*735 重量Weight Kg 132 280 390 750 1050 1050 噪音Noise dB(A) ≤68 ≤66 ≤70 ≤72 ≤75 ≤75 系統最大漏率 System Max. Leak-rate mbar.l/s 1*10-5 室溫操作范圍Operation Temp. ℃ 5-40 操作濕度Operation Moisture RH 90%以上